TM106E膜厚监测仪
所属分类：
石英晶体膜厚仪
关键词： TM106E膜厚监测仪
产品描述
产品简介
TM-106E 超小型膜厚监测仪，采用石英晶体振荡原理进行膜厚的在线监测，采用先进的频率测量技术（本公司自有知识产权技术），为广大用户研制的一款经济型在线膜厚监测仪器。此仪器具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点，主要用于MBE、OLED 热蒸发、磁控溅射等设备制备薄膜过程中膜层厚度及镀膜速率的监测，根据实时速率可以输出 PWM 模拟量，可做为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
本监测仪可与计算机连接，运行本机提供的计算机软件进行显示操作，或与本公司开发设计的 TM108 显示仪配套使用，具有界面简单、直观、合理、操作方便快捷等优点。可直观显示监测仪所测得的膜厚、速率、频率等，通过软件或显示仪可对监测仪的门控时间、输出方式、速率算法、材料参数及通讯参数等相关参数进行设置。并可将所测得的相关数据写入 Excel 文件。
技术指标
电源要求：DC5V（±10%） 最大电流 400 mA
高分辨率：±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å /测量(铝)
最高精度：±0.5%厚度+1计数
测量速度：100 mS/次
测量范围：500,000 Å (铝)
标准传感器晶体：6 MHz.
显示器：连接计算机通过软件显示或连接显示仪
计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8 停止位：1 校验：无）
通讯协议：Modbus-ASCII（默认）/ Modbus-RTU（通讯修改）
最大外形尺寸：90 x 50 x 18mm （长 x 宽 x 高）
使用温度范围：0-50℃室温
湿度范围：5%-85%RH.，不得有冷凝水珠
上一页
下一页
欢迎您的留言咨询
