膜厚仪探头
产品简介：
SE300系列石英晶体膜厚探头（简称：探头），采用先进的设计技术设计，高精度数控机床加工。连接于本公司生产膜厚仪使用。具有如下独特功能：
1) 可用于高真空环境，真空漏率小于1X10－10PaLS.
2) 气动探头挡板（选配件），外接气源控制挡板开关。
3) 全新水冷结构设计，内置水道设计提高水冷能力。
4) 水管可伸缩设计，在大气状态可改变伸入真空室长度。
所属分类：
石英晶体膜厚仪
关键词： 膜厚仪探头
产品描述
产品简介
SE300系列石英晶体膜厚探头（简称：探头），采用先进的设计技术设计，高精度数控机床加工。连接于本公司生产膜厚仪使用。具有如下独特功能：
1) 可用于高真空环境，真空漏率小于1X10－10PaLS.
2) 气动探头挡板（选配件），外接气源控制挡板开关。
3) 全新水冷结构设计，内置水道设计提高水冷能力。
4) 水管可伸缩设计，在大气状态可改变伸入真空室长度。
技术指标
适用晶片频率：6MHz
适用晶片尺寸：直径：14mm
安装法兰规格：CF35 、M25
冷却水管长度：300mm、500mm、1000mm
水管规格：直径3mm
冷却水压：<0.3MPa
气动挡板路管规格： 直径3mm
压缩空气压力：<0.8 MPa、>0.5 MPa
晶片类型：6MHz
使用温度：通水状态：<200摄氏度
不通水状态：<100摄氏度
烘烤温度：通水状态：<200摄氏度
不通水状态：<100摄氏度
电气接口：BCN插座
石英晶体探头选型表
| 基本型号 | SE300 | SE400 | 说明 | |
| 适用真空度 | 高真空 1.0E10-5 | 超高真空 1.0E10-8 | ||
| 密封方式 | 氟胶圈密封 | 焊接，全金属密封 | 电极和水管的密封方式 | |
| 真空漏率 | <1.0X10-8Pa.L.S | <1.0X10-10Pa.L.S | ||
| 冷却水管长度 | 300/500/1000mm可选，探头长度可在非真空状态调整 | 300/500/1000mm可选，自行焊接或提供定制长度 | 定制长度为探头晶片中心到法兰内表面长度 | |
| 安装方式 | -H：水平安装； -V：垂直安装 | 晶片平面与冷却水管的位置关系 | ||
| 法兰形式 | CF35/M25可选 | CF35 | ||
探头型说明：SE300-H-CF35-300为高真空探头CF35法兰、水平安装、水管长300mm。
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