SI-TM118薄膜膜层控制仪
所属分类：
石英晶体膜厚仪
关键词： SI-TM118薄膜膜层控制仪
产品描述
产品特点：
本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念，为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。整机如下特点：
● 高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术，频率测量分辨率为0.03Hz（6MHz）,测量速度为10次/S。
● 高稳定度镀膜速率控制。本机根据测量出的高精度的镀膜速率与设定速率，通过PID运算得出输出功率数据，对镀膜源输出功率进行精准控制，实现高稳定度的镀膜速率控制。
● PID自整定功能。通过本机内置的PID自整定功能，精确测算PID运行参数为实现高稳定度的镀膜速率控制提供保障。
● 分段预热控制。在镀膜之前对镀膜材料进行分段预热和匀热。对材料进行除气和除杂，从而对也为实现高稳定度的镀膜速率控制提供保障。
● 终止膜厚控制。控制仪通过对样品膜层厚度与设定厚度进行比较，来控制样品挡板或镀膜源挡板，实现终止膜厚控制。
● 挡板控制。控制仪可以对所连接的样品挡板、镀膜源挡板及探头挡板实现自动或手动的开关控制。
● 可编程自动化控制。通过本控制仪可对镀膜的整个过程进行程序编辑，以实现全自动单层镀膜。
● 支持多种镀膜源。本控制仪可连接，电子枪、蒸发镀膜源、磁控溅射靶和多弧源等镀膜源，并对其实现控制与操作。
● 图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面，触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点，并可提供在线帮助。
产品规格：
● 测量模块
| 项目 | 普通精度测量板 | 说明 |
| 测量单元 | 配接TM106膜厚仪 | 控制仪连接TM106膜厚仪用于膜厚测量。 |
| 频率测量分辨率 | 0.03Hz | 当测量频率为6MHz时 |
| 频率稳定度 | ±0.1Hz | |
| 频率更新速度 | 10次/S | 单次测量时间为 |
| 频率测量采样时间 | 0.1~10S | |
| 膜厚测量分辨率 | 0.1Å | 镀膜材料：“铝” |
| 速率分辨率 | 0.1Å/S | |
| 膜厚测量精度 | <0.5% | 水冷探头，水温变化<±1℃ |
| 探头类型 | 单晶片 | 可选配挡板 |
| 晶片初始频率 | 6MHz | 直径14mm |
模拟量输出
输出通道数量：1CH
输出电平标准：0~10V或0~5V
输出分辨率：10mV
稳定度：±20mV
线性度：±50mV
最大输出电流：5mA
开关量输出
输出类型：继电器常开触点（两通道）
负载电流：5A/DC24V；2.5A/AC220
最大电压：AC220/DC110
绝缘电压：3000Vrms
镀膜程序编辑
可编辑程序数量：20（选择运行）
显示与操作
显示器规格：3.5英寸TFT液晶显示屏
操作方式：4线电阻式触摸屏
远程控制方式：RS232、RS485通讯接口
其它参数
供电电压：AC220V
消耗功率：<50W
机箱尺寸：365x160x160mm
存储温度：-20~50℃
使用温度：5~35℃
环境温度：<80%(相对温度)不结露
海拔高度：0~2000m
功率模式：在功率镀膜界面直接输入输出功率的%值，启动电源后输出与%值对应的0~5V或0~10V电压控制蒸发电源输出电流通过蒸发舟加热材料，此模式中膜厚仪只监测镀膜速率，不参与镀膜控制。
速率控制模式：在此模式时，输出功率由PID控制器的MV值控制，PID控制器定时对当前镀膜速率与设定速率进行PID计算MV值，调整输出功率%改变蒸发电源输出电流，形成速率闭环控制达到镀膜速率的稳定。(注意：只有正确的设置PID控制器的运行参数才能保证速率的稳定)
自动镀膜：此镀膜模式要预先编辑镀膜工艺，"自动镀膜控制器"按编辑好的镀膜过程及参数自动完成镀膜过程。本机可存储20个镀膜工艺。(注意：只有准确的镀膜工艺才能完成正确的镀膜过程)
终止厚度控制：当终厚设置不为0时，控制器实时比较当前厚度和终止厚度，当厚度大于等于终止厚度时关闭电源和挡板。
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