SI-TM508/608石英晶体膜厚监测仪
产品特点
本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念，整机实现模块组合，可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED 生产线、半导体 IC 生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。
所属分类：
石英晶体膜厚仪
关键词： SI-TM508/608石英晶体膜厚监测仪
产品描述
一、产品特点
本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念，整机实现模块组合，可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED 生产线、半导体 IC 生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。整机如下特点：
● 高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术，频率测量分辨率为 0.002Hz（6MHz），测量速度为 10 次/S。
● 模块式结构。本控制仪中测量板、主控制器等实现模块化设计，根据具体情况可以进行任意组合或增减。甚至测量模块可以实现高精度与普通精度模块的混装。
● 图形化界面、7 吋触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面，触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点，并可提供在线帮助。
二、产品规格
1、测量模块
| 项目 | TM508 普通精度 型 | TM608 高精度型 | 说明 |
| 测量板输入通道 | 每块测量板两个测量通道，独立运行控制 | 每台监测仪最多可安装 4 块测量板。普 通精度和高精度测量板可以混装。 | |
| 频率测量分辨率 | 0.03Hz | 0.002Hz | 当测量频率为 6MHz 时 |
| 频率稳定度 | ±0.1Hz | ±0.01Hz | |
| 基准源类型 | 普通石英晶振 | 恒温石英晶振 | TM608 开机后必需预热 15 分钟以上，以保证测量稳定度。 |
| 基准源长期稳定度 | ±100ppm | ±1ppm | 温度范围：-40~85℃ |
| 测量更新速率 | 10 次/S | 单次测量时间为 0.1S | |
| 频率测量采样时间 | 0.1~10S | ||
| 膜厚测量精度 | 0.1Å | 0.01Å | 镀膜材料：“铝” |
| 速率测量精度 | 0.1Å/S | 0.01Å/S | |
| 测量准确精度 | <0.5% | <0.2% | 水冷探头，水温变化 |
| 晶片初始频率 | 6MHz | 直径 14mm | |
2、显示与操作
显示器规格： 7 英寸 TFT 真彩液晶显示屏
操作方式： 电容式触摸屏
远程控制方式： RS232、RS485 通讯接口
3、其它参数
供电电压： AC220V
消耗功率： <50W
机箱尺寸： 335x140x160mm
存储温度： -20~50℃
使用温度： 5~35℃
环境温度： <80%(相对温度)不结露
海拔高度： <2000m
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