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膜厚仪振荡器

产品特点：本系列采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念，整机实现模块组合，可为您提供更优化的和更经济的产品。本系列产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。

所属分类：

石英晶体膜厚仪

关键词：膜厚仪振荡器

产品咨询：

024-24533636

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产品描述

产品特点：
本系列采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念，整机实现模块组合，可为您提供更优化的和更经济的产品。本系列产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。
● 高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术，频率测量分辨率高达0.002Hz、膜厚分辨率0.01Å（材料：铝）、测量速率可达10次/秒。
● 高稳定度镀膜过程控制。控制仪产品可根据测量出的高精度的镀膜厚度与速率，通过 PID 运算等先进的控制技术实现镀膜过程的精准控制，实现精确、稳定的镀膜过程全自动控制。
● 界面友好、易操作。产品采用高分辨率液晶显示触摸屏操作与显示，具有清晰、直观等特点。
● 远程与外控。可选配 RS-232 或 RS-485 接口，可连接至电脑或工控机等设备，实现远程操作和控制，并可对镀膜数据进行实时记录（随机附送 PC 机测试软件）

SCIENS 膜厚仪产品选型表

型号	TM106	TM118	TM508/TM608 (高精度)	TM818/TM818S (高精度)
特点	超小型	控制型	模块化组合型	模块化、控制型
应用环境	用于系统集成(直连电脑或PLC)或配显示仪的低成本系统	用于简单的低成本的单通道镀膜机系统，实现速率和厚度控制。	用于镀膜速率及膜厚监测的镀膜系统。连接电脑或PLC实现系统集成，操作简单、应用方便。	用于多源共蒸和成熟工艺的镀膜机产品，实现镀膜过程的全自动控制。
			当镀膜速率小于0.5Å/S或厚度小于100Å的镀膜系统应选用高精度的膜厚仪产品。
膜层控制功能	无	单通道控制	无	六源共蒸沉积过程控制
频率测量精度	0.03Hz		0.03Hz 0.03Hz \| 0.002Hz(高精度)
膜厚测量分辨率 (铝)	0.1Å		0.1Å \| 0.01Å(高精度)
速率测量分辨率(铝)	0.1Å/S		0.1Å/S \| 0.01Å/S(高精度)
测量准确度	0.5%		0.5% \| 0.2%(高精度)
基准源	100MHz 石英晶体		100MHz 普通 \| TCXO(高精度)
测量通道数量	1CH	1CH	2、4、6、8CH/ 可选装普通或高精度测量板
配接振荡器型号	自带		SI－ZD200、300、400
适应晶片	6MHz
显示方式	TM108 displayer、PLC or PC	3.5 inch 640x350TFT 液晶显示器	7 inch 1024x640 TFT 彩色液晶显示器
操作方式	显示仪或PC 机软件	触摸屏	触摸屏
通讯功能	RS-232/RS485
通讯协议	Modbus ASCII/RTU
供电电压	DC5V	AC220V
机箱尺寸 (mm)	70×35×20	184×655×160	335×140×160	365×160×160

石英晶体探头选型表

基本型号	SE300	SE400	说明
适用真空度	高真空 1.0E10^-5	超高真空 1.0E10^-8
密封方式	氟胶圈密封	焊接，全金属密封	电极和水管的密封方式
真空漏率	<1.0X10-8Pa.L.S	<1.0X10-10Pa.L.S
冷却水管长度	300/500/1000mm 可选，探头长度可在非真空状态调整	300/500/1000mm 可选，自行焊接或提供定制长度	定制长度为探头晶片中心到法兰内表面长度
安装方式	-H：水平安装 -V：垂直安装		晶片平面与冷却水管的位置关系
法兰形式	CF35/M25可选	CF35

探头型说明： SE300-H-CF35-300 为高真空探头 CF35 法兰、水平安装、水管长 300mm。

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