直流溅射电源DC500/1000E
所属分类：
溅射电源
关键词： 直流溅射电源DC500/1000E
产品描述
产品特点：
SI-DC500、1000 型多功能直流电源，采用先进的高频 PWM 开关电源控制技术、微电脑控制技术、完善的反馈控制技术及先进的电路设计技术研发设计，用于磁控溅射镀膜、等离子发生器、二级溅射、CVD 样品偏压等方面。并具有如下独特功能：
● 恒压（偏压）、恒流和恒功率三种模式；
● 控制精度高，可达 0.1%+1 字；
● 多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；
● RS232 或 RS485 通讯接口,可实现全功能遥控与遥测；
● 外控接口， 可实现外部模拟控制及级联输出功能；
● 20 微秒高速灭弧功能，可有效抑制磁控靶的放电现象，对磁控靶及靶材具有良好的保护作用；
● 双通道输出，可本地或遥控切换选择；
● 软起动功能，0.1~10 秒可本地或遥控设置；
● 体积小重量轻。最大外形尺寸 483 x 89 x 200 全机仅 4.2kg；
● 定时关机功能， 1~9999 秒可本地或遥控设置；
● 4.3 吋彩色液晶屏显示，触摸屏操作。操作简单、使用方便。
● 输出电压有 600V（ 磁控溅射、 偏压电源）和 1200V（ 二极溅射、 等离子发生器） 两种电压可供选择。
● 输出极性有"正"（阳极等离子发生器、偏压） 和"负"（溅射、偏压、等离子发生器）两种选择
技术指标
供电电源要求： AC220V / 50Hz（±10%） 最大电流 5A
运行模式： 恒流、恒压、恒功率（可手动选择）
最大输出电压： ±600V、 ±1200V ①
最大输出电流： 2A、 1A、 0.5A ②
最大输出功率： 500W、 1000W ②
负载调整率： >99.86%
短路响应时间： <5mS
控制精度： 1%±1字、 0.1%±1字 ③
显示器： 4.3吋彩色液晶显示屏
计算机接口： RS-232/485串行接口 (选配件)
定时器最大时间： 9999S
软启动时间： 0.1~10S
最大外形尺寸： 483 x 89 x 200 ( 宽 x 高 x 深 )
重量： 4.2kg (电源主机)
使用温度： 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围： 5%-85%RH.， 不结露
①： 600V/1200V 两种电压； 正电压/负电压两种极性输出订货时选择。 默认输出： -600V（磁控溅射）。
②： 订货时选择。 600V/1A/500W； 600V/2A/1000W；1200V/0.5A/500W； 1200V/1A/1000W；
③： 订货时选择。
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