射频溅射电源RF500E
所属分类：
溅射电源
关键词： 射频溅射电源RF500E
产品描述
产品特点：
SI-RF500D 型系列射频电源，是采用全晶体管高效率 E 类射频功率放大器，ARM 单片机做整机控制,带触屏的液晶显示器作为人机交互部件的新型射频电源。微电脑控制技术的应用使系统的保护更加完善，输出功率更加稳定。全新设计的散热系统，使得大功率晶体管的工作温度大大降低、工作寿命更长更稳定，并可长时间连续工作。由于采用了触屏和 TFT 彩色液晶显示器，再辅以适当的软件，所以控制更灵活，人机交互界面更友好，使用更方便。
匹配器具有自动匹配和跟踪功能。如果真空室是容性负载，匹配器可以自动检测负载的负偏压，在启动自动调谐后及手动调谐期间匹配器会自动产生一个-2000V 左右的的点火电压，使得在较高真空度情况下的匹配更容易。
本电源可以广泛的用于磁控溅射镀膜、等离子发生器、溅射、 PECVD、等离子刻蚀等方面应用。
● 射频恒功率输出。 控制精度可高达 0.5%+1字；
● 一键式自动调谐匹配及自动跟踪匹配。
● 高压点火辅助。 匹配器可以根据需要自动产生-1000V 左右的点火电压使匹配更容易。
● 液晶显示器。 数据显示采用带触摸屏的，显示控制直观方便精度高。
● 多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；维护方便。
● RS232 及 RS485 通讯接口,可实现全功能遥控与遥测（选装）；
● 全新的散热系统设计， 本电源在不堵塞散热孔的前提下可连续工作。
● 体积小重量轻。最大外形尺寸 483 x 89 x 350全机仅 7.2kg；
● 本机具有模拟功率遥控接口，可与控制器组成闭环控制系统。并使系统能在射频泄露较严重，电磁干扰较强的环境中稳定的工作。
技术指标
供电电源要求： AC220V（±10%） / 50Hz /10A；
运行模式： 恒功率控制；
输出频率： 13.56MHz（±0.1%）；
输出阻抗： 50欧姆；
最大允许输出功率： 500W。
负载匹配调谐方式： 手动调谐/自动跟踪调谐 ①
调谐电容显示方式： 主机数字显示电容位置
功率控制精度： 1%+1W、 0.5% +1W ①
显示器： 触摸屏+4.3' TFT彩色液晶显示器；
计算机接口： RS-232/485串行接口/Modbus协议①
模拟控制接口： 0－5V的模拟量输入；开关量控制
最大外形尺寸：主机 483 x 89 x 350mm ( 宽 x 高 x 深 )
匹配器 300x260x130mm( 不含固定脚 )
重量： 主机 7.2kg 匹配器 2.3kg
使用温度： 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围： 5%-85%RH.， 不结露
①： 带此标注项目为选配项
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