SI-PDC030等离子清洗机
所属分类：
等离子清洗机
关键词： SI-PDC030等离子清洗机
产品描述
产品简介
SI-PDF030 型系列等离子清洗机，是采高效率电子管作为末级输出。 ARM 单片机做整机控制的新型离子清洗机。由于采用 ARM 单片机做整机控制，实现真空压力检测、定时控制和功率控制集成控制。可以广泛的用于清洗各种基片材料和晶体上纳米级的有机污染物。 在“HI”功率状态下最大去除污染物的速度为 20nm/min。在做外延沉积之前对单晶衬底进行清洗能够达到更好的沉积效果。并具有如下独特功能：
● 三档功率输出，按键控制；
● 内建定时器，可实现定时关机；
● 内建真空压力检测。
● RF 输出功率检测， 无输出报警
● 体积小重量轻。最大外形尺寸 400 x 300 x 300 全机仅 10.2kg；
技术指标
供电电源要求： AC220V / 50Hz（±10%） 最大电流 2A
输出频率： 3.0MHz（±1%）
输出功率： 7.2、 10.2、 29.6W三档
清洗腔：
内部尺寸： Φ160 x 190mm
材质： 高纯度石英管
腔门： 可开关的密封法兰门（带充气装置）
真空系统：
真空泵： 2L 旋片式机械泵（选配）
真空泵接口： ø25
真空计： 1Pa~1x105Pa（内置）
三通阀： 1/8 英寸
微调阀： 1/8 英寸
充气接口： 卡套（ Φ6mm）
气体种类： N2、 Ar、 O2 等非腐蚀性气体， 严禁充入易燃易爆气体
控制及其它：
显示器： 一组四位LED数码管
外形尺寸：主机 400 x 300 x 300mm ( 宽 x 高 x 深 )
重量： 主机 10.2kg （不含真空泵）
使用温度： 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围： 5%-85%RH，不结露
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