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EC180蒸发镀膜机

产品简介本镀膜机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。

所属分类：

小型镀膜机

关键词： EC180蒸发镀膜机

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024-24533636

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产品描述

产品简介
本镀膜机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。具有如下特点：
a)   电阻式双蒸发源。本机采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。
b)   桌面小型一体化结构。本机对真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿（不包含真空机组，440x240x260mm，宽X高X深），可放到手套箱中使用。
c)   双蒸发源。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。
d)   高稳定度恒流蒸发电源。本机配装0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。
e)   镀膜厚度与速率控制。本镀膜机可选配本公司研制石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中可对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
f)   数据记录。镀膜机可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制(选配)。
g)   模块化设计。本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不的需求对相应模块进行组合。以达到最优化的镀膜环境。并便于用户维修与维护
h)   图形化操作界面及触屏控制。本机操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

技术指标
供电电压：AC220V/50Hz/1500W
蒸发电源功率：1000W/5V/200A
蒸发电极有效距离：50mm
样品台规格：直径100mm(可旋转)
膜厚测量精度：0.1Å
外接真空机组：可选配国产或进口机组。
真空接口规格：KF40
极限真空度：3.0x10-4Pa（分子泵）
工作真空度：5.0x10-3Pa
使用环境温度：<35℃
使用环境湿度：<75%(相对湿度)不结露
使用环境海拔：<1500m
外型尺寸： 440x240x260(宽x高x深)
重量：约47Kg不包含真空机组